진공 누설률(Leak Rate) 계산

챔버 내의 압력 변화는 내부 부피에 압력 변화를 곱하고 그 결과를 압력 변화에 필요한 측정 시간으로 나누어 누설률(Leak Rate)로 변환할 수 있다.

즉, 챔버 부피, 압력 변화, 경과 시간을 아래 식에 입력하여 계산할 수 있다.

 

(식 1) L = V x ΔP/ΔT

 

여기서,

L : Leak Rate (Pa-m3/s)

V : 챔버 부피 (m3)

ΔP : 압력 변화 (Pa)

ΔT : 경과 시간 (sec)

이다.

 

챔버 부피, V (m3) :

압력 변화, ΔP (Pa) :

경과 시간, Δt (sec) :

     

Leak Rate, L (Pa-m3/s) :

Leak Rate, L (torr-liter/s) :

Leak Rate, L (atm-liter/min) :

 

Leak Rate의 단위는 Pa-m3/s 로 나타내며, torr-liter/s 나 atm-liter/min 로 변환하여 사용한다.

(1 Pa = 0.00750062 torr, 1 Pa = 0.00000987 atm)