진공 배기 시간 및 속도 계산

진공 챔버의 부피, 목표 압력 및 해당 압력에 도달하는 데 걸리는 시간을 아래 식에 입력하여 진공 펌핑 시간 및 속도를 계산할 수 있다.

 

(식 1) 진공 배기 속도, Q (L/min) = V/t  X  ln (Po/P1)

 

(식 2) 진공 배기 시간, t (min) = V/Q  X ln (Po/P1)

 

여기서,

 Q : 펌핑 속도 (L/min)

 V : 챔버 부피 (L)

 t : 펌핑 시간 (min)

 Po : 초기 압력 (Pa)

 P1 : 목표 압력 (Pa)

 

결과값 선택 : 펌핑시간 펌핑속도

챔버부피, V (L) :

펌핑속도, Q (L/m) :

초기압력, Po (Pa) :

목표압력, P1 (Pa) :

     

펌핑시간, t (min) :

 

초기 압력 101,325 Pa은 대기압이다.

 

단위변환은 아래와 같다.

1 torr = 133.322 pa, 1 pa =  0.00750062 torr

 

위의 계산값은 사용하여 진공펌프를 선택하려면, 진공 시스템 구조, 배관경, Leak Rate, 배관 길이 등의 변수를 고려하여 여유있게 선정하기 바란다.