진공 챔버의 부피, 목표 압력 및 해당 압력에 도달하는 데 걸리는 시간을 아래 식에 입력하여 진공 펌핑 시간 및 속도를 계산할 수 있다.
(식 1) 진공 배기 속도, Q (L/min) = V/t X ln (Po/P1)
(식 2) 진공 배기 시간, t (min) = V/Q X ln (Po/P1)
여기서,
Q : 펌핑 속도 (L/min)
V : 챔버 부피 (L)
t : 펌핑 시간 (min)
Po : 초기 압력 (Pa)
P1 : 목표 압력 (Pa)
초기 압력 101,325 Pa은 대기압이다.
단위변환은 아래와 같다.
1 torr = 133.322 pa, 1 pa = 0.00750062 torr
위의 계산값은 사용하여 진공펌프를 선택하려면, 진공 시스템 구조, 배관경, Leak Rate, 배관 길이 등의 변수를 고려하여 여유있게 선정하기 바란다.
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